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仪表网 行业标准】近日，江苏省市场监督管理局发布了江苏省地方计量技术规范《光学显微干涉式三维表面形貌
测量仪校准规范》，实施日期2023年4月1日。
光学显微干涉式三维表面形貌测量仪是一种利用光学干涉原理对样品表面三维形貌进行精密测量的仪器，在样品表面垂直方向上可以达到亚纳米级的分辨力，广泛应用于材料、半导体等领域。大多数情况下，测量仪使用白光作为光源，故也被称作白光干涉仪。
测量仪由主机与控制系统共同构成，其坐标系与测量回路示意图见图1。根据干涉显微镜结构的不同，测量仪分为迈克尔逊(Michelson)、米劳(Mirau)和林尼克(Linnik)三种。
本规范依据JJF 1071《国家计量校准规范编写规则》编制，规范中的通用计量术语符合JJF 1001《通用计量术语及定义》，附录中的测量不确定度示例依据JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》评定。
本规范主要参考ISO 25178-603:2013 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分 非接触 (相移干涉显微) 式仪器的标称特性(Geometrical product specifications (GPS)-Surface texture:Areal Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments) 、ISO 25178-604:2013 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第604部分 非接触 (相干扫描干涉) 式仪器的标称特性(Geometrical Product Specifications (GPS) — Surface texture: Areal—Part 604 : Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments)等编制而成。
依据JJF 1071《国家计量校准规范编写规则》，本规范在架构上包括：范围；引用文件；概述；计量特性；校准条件；校准项目和校准方法；校准结果表达；复校时间间隔以及附录等内容。
校准环境条件：
仪器使用允许的环境条件，测量过程中应测量和记录环境的温度、湿度。使用的标准器，应在测量环境中稳定不小于0.5h。实验室内应无影响校准结果的振动、电磁辐射等因素。
测量标准及其他设备：
校准结果表达：
经校准的测量仪出具校准证书，校准证书内容见附录C。
复校时间间隔：
校准时间间隔，根据仪器使用情况由用户自行确定，建议为一年。
本规范为首次发布。本规范适用于光学显微干涉式三维表面形貌测量仪的校准。(更多详情请见附件)
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