表面测量仪器
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德国马尔MarSurf XC2/XC20轮廓测量仪特点:
7、直接的评定过程包括几何评定、测量力评定和偏离补偿
8、采用驱动器CD 120,CD120带有专用的测量臂可快捷和灵活地更换测量臂而不用任何工具,每个测量臂的评定数据是分别存储
9、驱动器水平方向测量行程120mm,垂直方向50mm,可调节测量臂自动上升和下降速度;可改变测力设置由1mN至120mN
16、结合高精度的驱动器LD120和ST500或ST750测量工作台,可达豪微米范围的分辨率。
德国马尔MarSurf XC2/XC20轮廓测量仪技术参数:
9、测量精度:<1μm (在120mm全程内)
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